超聲掃描顯微鏡AW™系列,容量大,產(chǎn)能高,靈敏度高。
AWTM系列產(chǎn)品是專門為粘合晶圓及硅片設(shè)計的全自動 C-SAM®系統(tǒng),容量大,產(chǎn)能高,靈敏度高。通常用來檢 測SOI,MEMS等晶圓。由于這些材料對超聲波幾乎是透明 的,Sonoscan利用自己專門研制的高頻探頭進行分析, 以獲取精細的圖像。AW系列能夠探測直徑小于5微米 的空洞和薄如200埃的分層。
超聲掃描顯微鏡AW™系列,容量大,產(chǎn)能高,靈敏度高。
AWTM系列產(chǎn)品是專門為粘合晶圓及硅片設(shè)計的全自動 C-SAM®系統(tǒng),容量大,產(chǎn)能高,靈敏度高。通常用來檢 測SOI,MEMS等晶圓。由于這些材料對超聲波幾乎是透明 的,Sonoscan利用自己專門研制的高頻探頭進行分析, 以獲取精細的圖像。AW系列能夠探測直徑小于5微米 的空洞和薄如200埃的分層。
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